Modular deposition chamber for in situ X-ray experiments during RF and DC magnetron sputtering
A new sputtering system for in situ X-ray experiments during DC and RF magnetron sputtering is described. The outstanding features of the system are the modular design of the vacuum chamber, the adjustable deposition angle, the option for plasma diagnostics, and the UHV sample transfer in order to a...
Ausführliche Beschreibung
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Journal of synchrotron radiation. - 1994. - 19(2012), Pt 2 vom: 07. März, Seite 216-22
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| 1. Verfasser: |
Krause, Bärbel
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Darma, Susan,
Kaufholz, Marthe,
Gräfe, Hans Hellmuth,
Ulrich, Sven,
Mantilla, Miguel,
Weigel, Ralf,
Rembold, Steffen,
Baumbach, Tilo |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2012
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Journal of synchrotron radiation
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| Schlagworte: | Journal Article
Research Support, Non-U.S. Gov't |
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