Electro-mechanical coupling in shear-mode FBAR with piezoelectric modulated thin film

Electro-mechanical coupling in shear-mode FBAR with piezoelectric modulated thin film

© 2011 IEEE

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control. - 1986. - 58(2011), 4 vom: 02. Apr., Seite 685-8
1. Verfasser: Milyutin, Evgeny (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Muralt, Paul
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2011
Zugriff auf das übergeordnete Werk:IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
Schlagworte:Letter Research Support, Non-U.S. Gov't Membranes, Artificial
Online verfügbar Volltext