PZT transduction of high-overtone contour-mode resonators
This paper presents the Butterworth-van Dyke model and quantitative comparison that explore the design space of lead zirconate titanate-only (PZT) and PZT on 3-, 5-, and 10-μm single-crystal silicon (SCS) high-overtone width-extensional mode (WEM) resonators with identical lateral dimensions for inc...
Ausführliche Beschreibung
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control. - 1986. - 57(2010), 9 vom: 15. Sept., Seite 2035-41
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| 1. Verfasser: |
Chandrahalim, Hengky
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Bhave, Sunil A,
Polcawich, Ronald G,
Pulskamp, Jeffrey S,
Kaul, Roger |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2010
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
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| Schlagworte: | Journal Article |
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