Photoresist latent and developer images as probed by neutron reflectivity methods

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 23(2011), 3 vom: 18. Jan., Seite 388-408
1. Verfasser: Prabhu, Vivek M (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Kang, Shuhui, VanderHart, David L, Satija, Sushil K, Lin, Eric K, Wu, Wen-li
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2011
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't Research Support, U.S. Gov't, Non-P.H.S. Review Amines Polymers