Photoresist latent and developer images as probed by neutron reflectivity methods

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Détails bibliographiques
Publié dans:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 23(2011), 3 vom: 18. Jan., Seite 388-408
Auteur principal: Prabhu, Vivek M (Auteur)
Autres auteurs: Kang, Shuhui, VanderHart, David L, Satija, Sushil K, Lin, Eric K, Wu, Wen-li
Format: Article en ligne
Langue:English
Publié: 2011
Accès à la collection:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Sujets:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't Research Support, U.S. Gov't, Non-P.H.S. Review Amines Polymers