The materials challenge in diffraction-unlimited direct-laser-writing optical lithography

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 22(2010), 32 vom: 24. Aug., Seite 3578-82
1. Verfasser: Fischer, Joachim (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: von Freymann, Georg, Wegener, Martin
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2010
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't Xanthones Ethanol 3K9958V90M isopropyl thioxanthone 54KUS6SE2T
LEADER 01000caa a22002652 4500
001 NLM199249113
003 DE-627
005 20250211172622.0
007 cr uuu---uuuuu
008 231223s2010 xx |||||o 00| ||eng c
024 7 |a 10.1002/adma.201000892  |2 doi 
028 5 2 |a pubmed25n0664.xml 
035 |a (DE-627)NLM199249113 
035 |a (NLM)20593434 
040 |a DE-627  |b ger  |c DE-627  |e rakwb 
041 |a eng 
100 1 |a Fischer, Joachim  |e verfasserin  |4 aut 
245 1 4 |a The materials challenge in diffraction-unlimited direct-laser-writing optical lithography 
264 1 |c 2010 
336 |a Text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a ƒaComputermedien  |b c  |2 rdamedia 
338 |a ƒa Online-Ressource  |b cr  |2 rdacarrier 
500 |a Date Completed 07.12.2010 
500 |a Date Revised 30.09.2020 
500 |a published: Print 
500 |a Citation Status MEDLINE 
650 4 |a Journal Article 
650 4 |a Research Support, Non-U.S. Gov't 
650 7 |a Xanthones  |2 NLM 
650 7 |a Ethanol  |2 NLM 
650 7 |a 3K9958V90M  |2 NLM 
650 7 |a isopropyl thioxanthone  |2 NLM 
650 7 |a 54KUS6SE2T  |2 NLM 
700 1 |a von Freymann, Georg  |e verfasserin  |4 aut 
700 1 |a Wegener, Martin  |e verfasserin  |4 aut 
773 0 8 |i Enthalten in  |t Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)  |d 1998  |g 22(2010), 32 vom: 24. Aug., Seite 3578-82  |w (DE-627)NLM098206397  |x 1521-4095  |7 nnns 
773 1 8 |g volume:22  |g year:2010  |g number:32  |g day:24  |g month:08  |g pages:3578-82 
856 4 0 |u http://dx.doi.org/10.1002/adma.201000892  |3 Volltext 
912 |a GBV_USEFLAG_A 
912 |a SYSFLAG_A 
912 |a GBV_NLM 
912 |a GBV_ILN_350 
951 |a AR 
952 |d 22  |j 2010  |e 32  |b 24  |c 08  |h 3578-82