$The materials challenge in diffraction-unlimited direct-laser-writing optical lithography$

The materials challenge in diffraction-unlimited direct-laser-writing optical lithography

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 22(2010), 32 vom: 24. Aug., Seite 3578-82
1. Verfasser:	Fischer, Joachim (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	von Freymann, Georg, Wegener, Martin
Format:	Online-Aufsatz
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2010
Zugriff auf das übergeordnete Werk:	Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:	Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't Xanthones Ethanol 3K9958V90M isopropyl thioxanthone 54KUS6SE2T

Beschreibung
Beschreibung:	Date Completed 07.12.2010 Date Revised 30.09.2020 published: Print Citation Status MEDLINE
ISSN:	1521-4095
DOI:	10.1002/adma.201000892