Experimental investigation of acoustic substrate losses in 1850-MHz thin film BAW resonators
After optimizing for electromechanical coupling coefficient K(2), the main performance improvement in the thin film bulk acoustic wave resonators and filters can be achieved by improving the Q value, i.e., minimizing the losses. In Bragg-reflector-based solidly mounted resonator technology, a signif...
Ausführliche Beschreibung
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control. - 1986. - 56(2009), 11 vom: 01. Nov., Seite 2544-52
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| 1. Verfasser: |
Pensala, Tuomas
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Thalhammer, Robert,
Dekker, James,
Kaitila, Jyrki |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2009
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
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| Schlagworte: | Evaluation Study
Journal Article
Membranes, Artificial |
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