Positive-tone nanopatterning of chemical vapor deposited polyacrylic thin films
Terpolymers of methyl alpha-chloroacrylate (MCA), methacrylic acid (MAA), and methacrylic anhydride (MAH) were synthesized by initiated chemical vapor deposition (iCVD) of MCA and MAA followed by low-temperature annealing that partially converts MAA into MAH. The MAA composition in the iCVD copolyme...
| Veröffentlicht in: | Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids. - 1992. - 22(2006), 4 vom: 14. Feb., Seite 1795-9 |
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| Format: | Aufsatz |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
2006
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids |
| Schlagworte: | Journal Article |