High-frequency, silicon-based ultrasonic nozzles using multiple Fourier horns

This paper presents the design, simulation, and characterization of microfabricated 0.5 MHz, silicon-based, ultrasonic nozzles. Each nozzle is made of a piezoelectric drive section and a silicon resonator consisting of multiple Fourier horns, each with half wavelength design and twice amplitude magn...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control. - 1986. - 51(2004), 3 vom: 07. März, Seite 277-85
1. Verfasser:	Tsai, Shirley C (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Song, Yu L, Tseng, Terry K, Chou, Yuan F, Chen, Wei J, Tsai, Chen S
Format:	Aufsatz
Sprache:	English
Veröffentlicht:	2004
Zugriff auf das übergeordnete Werk:	IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
Schlagworte:	Journal Article