Hydrogen-implantation-induced damage in silicon
| Veröffentlicht in: | Physical review. B, Condensed matter. - 1985. - 36(1987), 2 vom: 15. Juli, Seite 1344-1347 |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Weitere Verfasser: | , , |
| Format: | Aufsatz |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
1987
|
| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Physical review. B, Condensed matter |
| Schlagworte: | Journal Article |