Hydrogen-implantation-induced damage in silicon

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physical review. B, Condensed matter. - 1985. - 36(1987), 2 vom: 15. Juli, Seite 1344-1347
1. Verfasser:	Keinonen (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Hautala, Rauhala, Erola
Format:	Aufsatz
Sprache:	English
Veröffentlicht:	1987
Zugriff auf das übergeordnete Werk:	Physical review. B, Condensed matter
Schlagworte:	Journal Article

Beschreibung
Beschreibung:	Date Revised 20.11.2019 published: Print Citation Status PubMed-not-MEDLINE
ISSN:	0163-1829