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    Combinatorial refinement of thin-film microstructure, properties and process conditions iterative nanoscale search for self-assembled TiAlN nanolamellae
    von Zalesak, J
    Veröffentlicht in: Journal of applied crystallography (2016)
    Weitere Verfasser: “...Todt, J...”
    Aufsatz

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    X-ray nanodiffraction analysis of stress oscillations in a W thin film on through-silicon via
    von Todt, J
    Veröffentlicht in: Journal of applied crystallography (2016)
    Aufsatz

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