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    Neutron reflectivity characterization of the photoacid reaction-diffusion latent and developed images of molecular resists for extreme ultraviolet lithography
    Neutron reflectivity characterization of the photoacid reaction-diffusion latent and developed images of molecular resists for extreme ultraviolet lithography
    par Prabhu, Vivek M
    Publié dans: Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids (2012)
    Autres auteurs: “...Kang, Shuhui...”

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  2. 2
    Photoresist latent and developer images as probed by neutron reflectivity methods
    Photoresist latent and developer images as probed by neutron reflectivity methods
    par Prabhu, Vivek M
    Publié dans: Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.) (2011)
    Autres auteurs: “...Kang, Shuhui...”

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  3. 3
    Effect of deprotection extent on swelling and dissolution regimes of thin polymer films
    Effect of deprotection extent on swelling and dissolution regimes of thin polymer films
    par Rao, Ashwin
    Publié dans: Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids (2006)
    Autres auteurs: “...Kang, Shuhui...”
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