Electrostatic transducers for micromechanical resonators free space and solid dielectric

von Kaajakari, Ville
Veröffentlicht in: IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control (2006)

Systematic design approach for capacitively coupled microelectromechanical filters

von Alastalo, Ari T
Veröffentlicht in: IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control (2006)

Phase noise in capacitively coupled micromechanical oscillators

von Kaajakari, Ville
Veröffentlicht in: IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control (2005)