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    In situ and real-time monitoring of structure formation during non-reactive sputter deposition of lanthanum and reactive sputter deposition of lanthanum nitride
    von Krause, Bärbel
    Veröffentlicht in: Journal of applied crystallography (2018)
    Weitere Verfasser: “...Bijkerk, Fred...”

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    Mo/Si multilayer-coated amplitude-division beam splitters for XUV radiation sources
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