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SyLMAND a microfabrication beamline with wide spectral and beam power tuning range at the Canadian Light Source
par
Wells, Garth
Publié dans:
Journal of synchrotron radiation
(2019)
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Achenbach
,
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Characterization of the surface contamination of deep X-ray lithography mirrors exposed to synchrotron radiation
par
Achenbach
,
Sven
Publié dans:
Journal of synchrotron radiation
(2018)
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