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    SyLMAND a microfabrication beamline with wide spectral and beam power tuning range at the Canadian Light Source
    SyLMAND a microfabrication beamline with wide spectral and beam power tuning range at the Canadian Light Source
    von Wells, Garth
    Veröffentlicht in: Journal of synchrotron radiation (2019)
    Weitere Verfasser: “...Achenbach, Sven...”

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    Characterization of the surface contamination of deep X-ray lithography mirrors exposed to synchrotron radiation
    Characterization of the surface contamination of deep X-ray lithography mirrors exposed to synchrotron radiation
    von Achenbach, Sven
    Veröffentlicht in: Journal of synchrotron radiation (2018)

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Journal Article X-ray lithography MEMS beamlines carbon contamination development rate microfabrication mirror reflectivity oxidation
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