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XUV optical elements
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2
XUV optical elements
at-wavelength metrology
2
diffraction gratings
2
reflectometer
2
PGM beamline
1
Research Support, Non-U.S. Gov't
1
plus ...
c-PGM beamline
1
higher orders
1
polarimetry
1
reflectivity
1
moins ...
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1
Efficient high-order suppression system for a metrology beamline
par
Sokolov, A
Publié dans:
Journal of synchrotron radiation
(2018)
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2
The at-wavelength metrology facility for UV- and XUV-reflection and diffraction optics at BESSY-II
par
Schäfers, F
Publié dans:
Journal of synchrotron radiation
(2016)
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