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Journal Article 1 MC-CMP 1 channel-cut crystal 1 high-accuracy roughness 1 residue-stress free scratch- and speckle-free 1
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    A magnetically controlled chemical-mechanical polishing (MC-CMP) approach for fabricating channel-cut silicon crystal optics for the High Energy Photon Source
    A magnetically controlled chemical-mechanical polishing (MC-CMP) approach for fabricating channel-cut silicon crystal optics for the High Energy Photon Source
    von Hong, Zhen
    Veröffentlicht in: Journal of synchrotron radiation (2023)

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