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Journal Article 2 XUV optical elements 2 at-wavelength metrology 2 diffraction gratings 2 reflectometer PGM beamline 1 Research Support, Non-U.S. Gov't 1 mehr ... c-PGM beamline 1 higher orders 1 polarimetry 1 reflectivity 1 weniger ...
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  1. 1
    Efficient high-order suppression system for a metrology beamline
    Efficient high-order suppression system for a metrology beamline
    von Sokolov, A
    Veröffentlicht in: Journal of synchrotron radiation (2018)

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  2. 2
    The at-wavelength metrology facility for UV- and XUV-reflection and diffraction optics at BESSY-II
    The at-wavelength metrology facility for UV- and XUV-reflection and diffraction optics at BESSY-II
    von Schäfers, F
    Veröffentlicht in: Journal of synchrotron radiation (2016)

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