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Journal Article 2 deep X-ray lithography LIGA process 1 lithography 1 microfabrication 1 microfluidic 1 sol-gel 1 mehr ... synchrotron light 1 weniger ...
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  1. 1
    Deep X-ray lithography system with a uniform and high-accuracy fabrication area established in beamline BL11 at NewSUBARU
    Deep X-ray lithography system with a uniform and high-accuracy fabrication area established in beamline BL11 at NewSUBARU
    von Takeuchi, Masaya
    Veröffentlicht in: Journal of synchrotron radiation (2019)

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  2. 2
    Fabrication of Advanced Functional Devices Combining Soft Chemistry with X-ray Lithography in One Step
    Fabrication of Advanced Functional Devices Combining Soft Chemistry with X-ray Lithography in One Step
    von Falcaro, Paolo
    Veröffentlicht in: Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.) (2009)

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