Copyright © 2009 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 21(2009), 48 vom: 28. Dez., Seite 4932-4936
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| 1. Verfasser: |
Falcaro, Paolo
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Malfatti, Luca,
Vaccari, Lisa,
Amenitsch, Heinz,
Marmiroli, Benedetta,
Grenci, Gianluca,
Innocenzi, Plinio |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2009
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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| Schlagworte: | Journal Article
deep X-ray lithography
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synchrotron light |
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