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Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - (2024) vom: 13. Nov., Seite e2413295
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| 1. Verfasser: |
Ryoo, Seung Kyu
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Kim, Kyung Do,
Choi, Wonho,
Sriboriboon, Panithan,
Heo, Seungjae,
Seo, Haengha,
Jang, Yoon Ho,
Jeon, Jeong Woo,
Yeom, Min Kyu,
Lee, Suk Hyun,
Park, Han Sol,
Kim, Yunseok,
Hwang, Cheol Seong |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2024
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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| Schlagworte: | Journal Article
aluminum scandium nitride film
bottom interface coherency
complementary‐metal‐oxide semiconductor compatible fabrication
ferroelectric
hafnium nitride
scalability |
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