Nanomechanical Crystalline AlN Resonators with High Quality Factors for Quantum Optoelectromechanics

© 2024 The Author(s). Advanced Materials published by Wiley‐VCH GmbH.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 36(2024), 44 vom: 01. Nov., Seite e2403155
1. Verfasser: Ciers, Anastasiia (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Jung, Alexander, Ciers, Joachim, Nindito, Laurentius Radit, Pfeifer, Hannes, Dadgar, Armin, Strittmatter, André, Wieczorek, Witlef
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2024
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article aluminium nitride dissipation dilution hierarchical clamping phononic crystal photonic crystal piezoelectricity strain