Optimizing Ultrathin 2D Transistors for Monolithic 3D Integration : A Study on Directly Grown Nanocrystalline Interconnects and Buried Contacts

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 36(2024), 26 vom: 28. Juni, Seite e2314164
1. Verfasser: Bae, Junseong (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Ryu, Hyeyoon, Kim, Dohee, Lee, Chang-Seok, Seol, Minsu, Byun, Kyung-Eun, Kim, Sangwon, Lee, Seunghyun
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2024
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article contact resistance layered crystals monolithic 3D ultrathin channel