Area-Selective Chemical Vapor Deposition of Gold by Electron Beam Seeding

© 2024 The Authors. Advanced Materials published by Wiley‐VCH GmbH.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 36(2024), 23 vom: 07. Juni, Seite e2313571
1. Verfasser: Tsarapkin, Aleksei (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Maćkosz, Krzysztof, Jureddy, Chinmai Sai, Utke, Ivo, Höflich, Katja
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2024
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article area‐selective chemical vapor deposition autocatalytic growth beam‐induced heating direct electron beam writing gold