© 2023 The Authors. Advanced Materials published by Wiley-VCH GmbH.
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 36(2024), 9 vom: 13. März, Seite e2304044
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| 1. Verfasser: |
Charnas, Adam
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Zhang, Zhuocheng,
Lin, Zehao,
Zheng, Dongqi,
Zhang, Jie,
Si, Mengwei,
Ye, Peide D |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2024
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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| Schlagworte: | Journal Article
Review
In2O3
amorphous
atomic layer deposition
back-end-of-line
oxide semiconductors |
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