Five Low-Noise Stable Oscillators Referenced to the Same Multimode AlN/Si MEMS Resonator
We report on the first experimental demonstration of five self-sustaining feedback oscillators referenced to a single multimode resonator, using piezoelectric aluminum nitride on silicon (AlN/Si) microelectromechanical systems (MEMS) technology. Integrated piezoelectric transduction enables efficien...
Ausführliche Beschreibung
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control. - 1986. - 70(2023), 10 vom: 19. Okt., Seite 1213-1228
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| 1. Verfasser: |
Kaisar, Tahmid
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Yousuf, S M Enamul Hoque,
Lee, Jaesung,
Qamar, Afzaal,
Rais-Zadeh, Mina,
Mandal, Soumyajit,
Feng, Philip X-L |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2023
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
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| Schlagworte: | Journal Article |
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