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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in: | Journal of synchrotron radiation. - 1994. - 30(2023), Pt 2 vom: 01. März, Seite 319-326
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1. Verfasser: |
Tong, Xujie
(VerfasserIn) |
Weitere Verfasser: |
Chen, Yifang,
Xu, Zijian,
Li, Yijie,
Xing, Zhenjiang,
Mu, Chengyang,
Zhao, Jun,
Zhen, Xiangjun,
Mao, Chengwen,
Tai, Renzhong |
Format: | Online-Aufsatz
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Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
2023
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Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Journal of synchrotron radiation
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Schlagworte: | Journal Article
X-ray microscopy
dielectric kinoform zone plate lens
greyscale electron beam lithography
high-efficiency focusing by soft X-rays |