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Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 35(2023), 18 vom: 19. Mai, Seite e2212079
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| 1. Verfasser: |
Jin, Yuanyuan
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Sun, Jian,
Zhang, Ling,
Yang, Junqiang,
Wu, Yangwu,
You, Bingying,
Liu, Xiao,
Leng, Kai,
Liu, Song |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2023
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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| Schlagworte: | Journal Article
dielectric layers
high-κ materials
m-ZrO2 |
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