Two-dimensional speckle technique for slope error measurements of weakly focusing reflective X-ray optics

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of synchrotron radiation. - 1994. - 29(2022), Pt 6 vom: 01. Nov., Seite 1385-1393
1. Verfasser: Hu, Lingfei (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Wang, Hongchang, Fox, Oliver, Sawhney, Kawal
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2022
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Journal of synchrotron radiation
Schlagworte:Journal Article X-ray optics at-wavelength metrology speckle technique