Deterministic Shallow Dopant Implantation in Silicon with Detection Confidence Upper-Bound to 99.85% by Ion-Solid Interactions

© 2021 The Authors. Advanced Materials published by Wiley-VCH GmbH.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 34(2022), 3 vom: 11. Jan., Seite e2103235
1. Verfasser: Jakob, Alexander M (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Robson, Simon G, Schmitt, Vivien, Mourik, Vincent, Posselt, Matthias, Spemann, Daniel, Johnson, Brett C, Firgau, Hannes R, Mayes, Edwin, McCallum, Jeffrey C, Morello, Andrea, Jamieson, David N
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2022
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article nanomaterials nanotechnology semiconductors sensors