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Détails bibliographiques
| Publié dans: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 33(2021), 41 vom: 05. Okt., Seite e2103708
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| Auteur principal: |
Hong, Ji-Eun
(Auteur) |
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| Autres auteurs: |
Lee, Yonghwan,
Mo, Sung-In,
Jeong, Hye-Seong,
An, Jeong-Ho,
Song, Hee-Eun,
Oh, Jihun,
Bang, Junhyeok,
Oh, Joon-Ho,
Kim, Ka-Hyun |
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| Format: | Article en ligne
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| Langue: | English |
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| Publié: |
2021
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| Accès à la collection: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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| Sujets: | Journal Article
epitaxial Si
kerfless wafer fabrication
self-releasing layer
single-batch reactor
ultrathin Si |
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