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Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Journal of synchrotron radiation. - 1994. - 28(2021), Pt 3 vom: 01. Mai, Seite 732-740
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| 1. Verfasser: |
Mamyrbayev, Talgat
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Ikematsu, Katsumasa,
Takano, Hidekazu,
Wu, Yanlin,
Kimura, Kenji,
Doll, Patrick,
Last, Arndt,
Momose, Atsushi,
Meyer, Pascal |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2021
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Journal of synchrotron radiation
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| Schlagworte: | Journal Article
deep X-ray lithography and electroplating
inclined refractive X-ray multi-lens array
pixel super-resolution
scanning transmission hard X-ray microscopy |
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