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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 33(2021), 21 vom: 15. Mai, Seite e2008653
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1. Verfasser: |
De Andrade, Vincent
(VerfasserIn) |
Weitere Verfasser: |
Nikitin, Viktor,
Wojcik, Michael,
Deriy, Alex,
Bean, Sunil,
Shu, Deming,
Mooney, Tim,
Peterson, Kevin,
Kc, Prabhat,
Li, Kenan,
Ali, Sajid,
Fezzaa, Kamel,
Gürsoy, Doga,
Arico, Cassandra,
Ouendi, Saliha,
Troadec, David,
Simon, Patrice,
De Carlo, Francesco,
Lethien, Christophe |
Format: | Online-Aufsatz
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Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
2021
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Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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Schlagworte: | Journal Article
X-rays
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nanolithography
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