© 2021 The Authors. Advanced Materials published by Wiley-VCH GmbH.
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 33(2021), 11 vom: 01. März, Seite e2008259
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1. Verfasser: |
Kammerer, Jochen A
(VerfasserIn) |
Weitere Verfasser: |
Duan, Xiaoyang,
Neubrech, Frank,
Schröder, Rasmus R,
Liu, Na,
Pfannmöller, Martin |
Format: | Online-Aufsatz
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Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
2021
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Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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Schlagworte: | Journal Article
Review
MgH2
electron beam lithography
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