Revealing Structural Disorder in Hydrogenated Amorphous Silicon for a Low-Loss Photonic Platform at Visible Frequencies

© 2021 Wiley-VCH GmbH.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 33(2021), 9 vom: 03. März, Seite e2005893
1. Verfasser: Yang, Younghwan (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Yoon, Gwanho, Park, Sunghak, Namgung, Seok Daniel, Badloe, Trevon, Nam, Ki Tae, Rho, Junsuk
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2021
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article dielectric metasurfaces hydrogenated amorphous silicon low-loss materials nano-crystalline plasma-enhanced chemical vapor deposition