Revealing Structural Disorder in Hydrogenated Amorphous Silicon for a Low-Loss Photonic Platform at Visible Frequencies

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Détails bibliographiques
Publié dans:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 33(2021), 9 vom: 12. März, Seite e2005893
Auteur principal: Yang, Younghwan (Auteur)
Autres auteurs: Yoon, Gwanho, Park, Sunghak, Namgung, Seok Daniel, Badloe, Trevon, Nam, Ki Tae, Rho, Junsuk
Format: Article en ligne
Langue:English
Publié: 2021
Accès à la collection:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Sujets:Journal Article dielectric metasurfaces hydrogenated amorphous silicon low-loss materials nano-crystalline plasma-enhanced chemical vapor deposition