© 2021 Wiley-VCH GmbH.
Détails bibliographiques
Publié dans: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 33(2021), 9 vom: 12. März, Seite e2005893
|
Auteur principal: |
Yang, Younghwan
(Auteur) |
Autres auteurs: |
Yoon, Gwanho,
Park, Sunghak,
Namgung, Seok Daniel,
Badloe, Trevon,
Nam, Ki Tae,
Rho, Junsuk |
Format: | Article en ligne
|
Langue: | English |
Publié: |
2021
|
Accès à la collection: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
|
Sujets: | Journal Article
dielectric metasurfaces
hydrogenated amorphous silicon
low-loss materials
nano-crystalline
plasma-enhanced chemical vapor deposition |