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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 33(2021), 9 vom: 03. März, Seite e2005893
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1. Verfasser: |
Yang, Younghwan
(VerfasserIn) |
Weitere Verfasser: |
Yoon, Gwanho,
Park, Sunghak,
Namgung, Seok Daniel,
Badloe, Trevon,
Nam, Ki Tae,
Rho, Junsuk |
Format: | Online-Aufsatz
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Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
2021
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Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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Schlagworte: | Journal Article
dielectric metasurfaces
hydrogenated amorphous silicon
low-loss materials
nano-crystalline
plasma-enhanced chemical vapor deposition |