Wafer-Scale High-Quality Microtubular Devices Fabricated via Dry-Etching for Optical and Microelectronic Applications

© 2020 The Authors. Published by WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 32(2020), 37 vom: 09. Sept., Seite e2003252
1. Verfasser: Saggau, Christian N (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Gabler, Felix, Karnaushenko, Dmitriy D, Karnaushenko, Daniil, Ma, Libo, Schmidt, Oliver G
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2020
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article dry release microcapacitors roll-up self-assembly whispering gallery mode resonators