Crystallographic Orientation Dependent Reactive Ion Etching in Single Crystal Diamond
© 2018 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.
| Publié dans: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 30(2018), 11 vom: 01. März |
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| Auteur principal: | |
| Autres auteurs: | , , |
| Format: | Article en ligne |
| Langue: | English |
| Publié: |
2018
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| Accès à la collection: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.) |
| Sujets: | Journal Article crystal orientation diamonds nanophotonics reactive ion etching single crystals |
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