Crystallographic Orientation Dependent Reactive Ion Etching in Single Crystal Diamond

Crystallographic Orientation Dependent Reactive Ion Etching in Single Crystal Diamond

© 2018 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 30(2018), 11 vom: 16. März
1. Verfasser: Xie, Ling (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Zhou, Tony X, Stöhr, Rainer J, Yacoby, Amir
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2018
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article crystal orientation diamonds nanophotonics reactive ion etching single crystals
Online verfügbar Volltext