Dielectrophoresis-Assisted Integration of 1024 Carbon Nanotube Sensors into a CMOS Microsystem

© 2017 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 29(2017), 17 vom: 05. Mai
1. Verfasser: Seichepine, Florent (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Rothe, Jörg, Dudina, Alexandra, Hierlemann, Andreas, Frey, Urs
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2017
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article CMOS LG-CNTFET carbon nanotubes dielectrophoresis nanosensors