CVD Polymers for Devices and Device Fabrication

© 2016 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 29(2017), 11 vom: 16. März
1. Verfasser: Wang, Minghui (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Wang, Xiaoxue, Moni, Priya, Liu, Andong, Kim, Do Han, Jo, Won Jun, Sojoudi, Hossein, Gleason, Karen K
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2017
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Review CVD device electronics films polymer