Detection of atomic force microscopy cantilever displacement with a transmitted electron beam

The response time of an atomic force microscopy (AFM) cantilever can be decreased by reducing cantilever size; however, the fastest AFM cantilevers are currently nearing the smallest size that can be detected with the conventional optical lever approach. Here, we demonstrate an electron beam detecti...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Applied physics letters. - 1998. - 109(2016), 4 vom: 25. Juli
1. Verfasser: Wagner, R (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Woehl, T J, Keller, R R, Killgore, J P
Format: Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2016
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Applied physics letters
Schlagworte:Journal Article