© 2016 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 28(2016), 38 vom: 02. Okt., Seite 8328-8343
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| 1. Verfasser: |
Han, Dong-Dong
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Zhang, Yong-Lai,
Ma, Jia-Nan,
Liu, Yu-Qing,
Han, Bing,
Sun, Hong-Bo |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2016
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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| Schlagworte: | Journal Article
UV lithography
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