Thin Film Formation and Morphology of Electrosprayed Polydimethylsiloxane
Low-voltage dielectric actuators (DEAs) can be fabricated using submicrometer-thin polydimethylsiloxane (PDMS) films. The two established techniques, namely spin coating and molecular beam deposition, however, are inappropriate to produce multistack DEAs in an efficient way. Therefore, we propose an...
Ausführliche Beschreibung
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids. - 1999. - 32(2016), 13 vom: 05. Apr., Seite 3276-83
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| 1. Verfasser: |
Weiss, Florian M
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Töpper, Tino,
Osmani, Bekim,
Deyhle, Hans,
Kovacs, Gabor,
Müller, Bert |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2016
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
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| Schlagworte: | Journal Article
Research Support, Non-U.S. Gov't |
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