Athermal Azobenzene-Based Nanoimprint Lithography

© 2016 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 28(2016), 13 vom: 06. Apr., Seite 2624-8
1. Verfasser: Probst, Christian (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Meichner, Christoph, Kreger, Klaus, Kador, Lothar, Neuber, Christian, Schmidt, Hans-Werner
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2016
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article Research Support, Non-U.S. Gov't athermal photofluidization azobenzene nanoimprint lithography nanopatterning soft lithography Azo Compounds Dimethylpolysiloxanes F0U1H6UG5C