Low-Temperature Synthesis of Large-Scale Molybdenum Disulfide Thin Films Directly on a Plastic Substrate Using Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

© 2015 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 27(2015), 35 vom: 16. Sept., Seite 5223-9
1. Verfasser: Ahn, Chisung (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Lee, Jinhwan, Kim, Hyeong-U, Bark, Hunyoung, Jeon, Minhwan, Ryu, Gyeong Hee, Lee, Zonghoon, Yeom, Geun Young, Kim, Kwangsu, Jung, Jaehyuck, Kim, Youngseok, Lee, Changgu, Kim, Taesung
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2015
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
Schlagworte:Journal Article flexible sensor low temperature molybdenum disulfide (MoS2) plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) plastic substrate