Complex Materials by Atomic Layer Deposition
© 2015 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.
Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 27(2015), 38 vom: 14. Okt., Seite 5778-84 |
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1. Verfasser: | |
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Format: | Online-Aufsatz |
Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
2015
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Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.) |
Schlagworte: | Journal Article atomic layer deposition ceramic plasmonics complex materials nano laminates transition metal dichalcogenides |
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