A two-layer linear piezoelectric micromotor
A first bending (B1) mode two-layer piezoelectric ultrasonic linear micromotor has been developed for microoptics driving applications. The piezo-vibrator of the micromotor was composed of two small Pb(Zr,Ti)O3 (PZT-5) plates, with overall dimensions and mass of only 2.0 × 2.0 × 5.0 mm(3) and 0.2 g,...
Ausführliche Beschreibung
Bibliographische Detailangaben
| Veröffentlicht in: | IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control. - 1986. - 62(2015), 3 vom: 07. März, Seite 405-11
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| 1. Verfasser: |
Li, Xiaotian
(VerfasserIn) |
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| Weitere Verfasser: |
Ci, Penghong,
Liu, Guoxi,
Dong, Shuxiang |
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| Format: | Online-Aufsatz
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| Sprache: | English |
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| Veröffentlicht: |
2015
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| Zugriff auf das übergeordnete Werk: | IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
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| Schlagworte: | Journal Article |
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