© 2015 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.). - 1998. - 27(2015), 10 vom: 11. März, Seite 1774-8
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1. Verfasser: |
Lee, Woo-Kyung
(VerfasserIn) |
Weitere Verfasser: |
Whitener, Keith E Jr,
Robinson, Jeremy T,
Sheehan, Paul E |
Format: | Online-Aufsatz
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Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
2015
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Zugriff auf das übergeordnete Werk: | Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)
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Schlagworte: | Journal Article
e-beam lithography
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