Micro- and submicrostructuring thin polymer films with two and three-beam single pulse laser interference lithography

In this work we report the application of two and three-beam single pulse laser interference lithography to thin polymer films of poly(trimethylene terephthalate) (PTT). By irradiating the sample surface with temporary and spatially overlapped single pulses from two or three coherent beams and chang...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids. - 1992. - 30(2014), 29 vom: 29. Juli, Seite 8973-9
1. Verfasser: Martín-Fabiani, Ignacio (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Riedel, Stephen, Rueda, Daniel R, Siegel, Jan, Boneberg, Johannes, Ezquerra, Tiberio A, Nogales, Aurora
Format: Online-Aufsatz
Sprache:English
Veröffentlicht: 2014
Zugriff auf das übergeordnete Werk:Langmuir : the ACS journal of surfaces and colloids
Schlagworte:Journal Article